自主研發(fā)的微型濕度傳感器，芯片面積小（3mm3mm），響應速度快（30%-70%RH階躍變化的響應時間最短為0.8s），制作工藝簡單（只需兩步光刻工藝），感濕介質廉價、已獲取、長期穩(wěn)定性好，便于大批量生產(chǎn)。適合于工作溫度在室溫~200℃范圍的便攜式消費電子與、農(nóng)業(yè)、氣象、汽車等場合的濕度檢測應用。

技術負責人：王鎖民  生命科學學院